特許
J-GLOBAL ID:200903081166216821
スイングドアーゲートバルブ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
林 宏 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-346262
公開番号(公開出願番号):特開2001-165334
出願日: 1999年12月06日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 チェンバーのシール面に対する垂直方向からのゲートの接離と、チェンバー開口部に対面する位置と側方の待避位置との間でのゲートの移動を、単一の流体圧シリンダを用いた簡単で安価な構成によって実現する。【解決手段】 チェンバー1の開口部2を開閉するゲート3を、該開口部に対面する位置と側方の待避位置との間でスイングするアーム7の先端に取り付ける。アーム7の基端は、ゲートが開口部2に接離する方向と平行に駆動される流体圧シリンダ8の出力軸10に支持させ、そのアーム7の基端に機枠6のガイド溝14に嵌入する転動体12を設ける。上記ガイド溝は、ゲート3がチェンバー1の開口部2に近接した位置にあるときには、ゲートを上記開口部に対面する位置に保持して移動させる軸方向溝14aと、それに連接されて、ゲートを開口部の側方に待避させる傾斜周方向溝14bにより形成する。
請求項(抜粋):
チェンバーを開閉するためのスイングドアーゲートバルブであって、上記チェンバーの開口部を開閉するゲートを、該開口部に対面する位置と側方に待避した位置との間でそれをスイングさせるアームの先端に取り付けると共に、上記アームの基端を、ゲートが上記チェンバーの開口部に正対して接離する方向と平行に駆動されるアクチュエータの出力軸に支持させ、上記アクチュエータを支持する機枠には、アームの向きを制御するガイド機構を設け、このガイド機構に、上記アクチュエータの駆動によりゲートがチェンバーの開口部に近接した位置にあるときには、ゲートを上記開口部に対面する位置に保持し、ゲートが開口部から離間した位置にあるときには、ゲートを該開口部の側方に待避させるようにアームをスイングさせる機能を持たせた、ことを特徴とするスイングドアーゲートバルブ。
IPC (3件):
F16K 3/18
, F16K 3/00
, F16K 31/122
FI (3件):
F16K 3/18 E
, F16K 3/00 C
, F16K 31/122
Fターム (12件):
3H053AA25
, 3H053BD10
, 3H053DA09
, 3H056AA05
, 3H056BB32
, 3H056CA01
, 3H056CB02
, 3H056CD02
, 3H056CD04
, 3H056CE06
, 3H056GG02
, 3H056GG14
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開昭63-106468
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特開昭55-054770
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ゲートバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-353705
出願人:エスエムシー株式会社
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仕切弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-351082
出願人:前澤工業株式会社
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真空ゲートバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-007694
出願人:株式会社日本製鋼所
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特開昭63-106468
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特開昭55-054770
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