特許
J-GLOBAL ID：200903081184605746
解像度を高めたルミネセンス顕微鏡検査
ヴォレシェンスキー、ラルフ
, ヴォレシェンスキー、ラルフ について
ケンペ、ミカエル
ケンペ、ミカエル について
出願人/特許権者：
カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー
, カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー について
カール ツァイス イェナ ゲーエムベーハー
カール ツァイス イェナ ゲーエムベーハー について
代理人 (4件)： 恩田 博宣 , 恩田 誠 , 本田 淳 , 池上 美穂
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-521906
公開番号（公開出願番号）：特表2009-503442
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2009年01月29日
要約：
ルミネセンス顕微鏡検査方法が記載され、この方法において、特定のルミネセンス放射(F)を放出させるための励起用放射(A)によって試料(24)を励起し、その際、ルミネセンスを発する試料(24)は、励起用放射出力を上昇させることにより、励起用放射出力の閾値(19)にあたる最大値(18)まで励起性が上昇した第1のルミネセンス状態(5)から、試料(24)の励起性が第1の状態(5)比べて低減された第2のルミネセンス状態(6)に移行可能であり、その際、試料(24)は、閾値(19)より高い励起用放射出力を照射することによって第2の状態(6)に移行可能であり、この試料(24)は、少なくとも1つの閾値(19)より高い出力極大を有する励起用放射分布で、励起用放射(A)の照射が行われることによって、ある部分領域では第1の状態(5)に移され、隣接する部分領域では第2の状態(6)に移され、ルミネッセンスを発する試料(24)の画像は、第1の状態(5)にある試料領域および第2の状態(6)にある試料領域を含んでおり、それにより、画像が、励起用放射分布より高い空間解像度を有するようになる。さらに走査型レーザ顕微鏡が提供され、この顕微鏡は、照明用放射線源(105)から放出された照明用放射線経路(B)内の照明用放射を試料(103)に向けるビーム・スプリッタ(113)を備えており、ビーム・スプリッタ(113)は、試料(103)で鏡面反射された照明用放射を検出器機構(104)へは通過させず、そのために照明用放射線経路(B)の瞳内に配置されており、かつビーム・スプリッタ面(122)上の、光軸(OA)の突破点(125)を中心とする円上にある少なくとも3つの点(123a〜d)で照明用放射のためにミラー・コーティングされたビーム・スプリッタ面(122)を有することによって、部分的にミラー・コーティングされており、これにより、試料(113)一面に周期的に分布する照明スポット(126)の形の干渉パターン(128)が試料(103)内に生じる。
請求項（抜粋）：
特定のルミネセンス放射(F)を放出させるための励起用放射(A)を照射することによって試料(P、24)を励起し、ルミネセンスを発する該試料(P、24)の画像を取得する、解像度を高めたルミネセンス顕微鏡検査方法であって、
ルミネセンスを発する該試料(P、24)は、励起用放射出力を上昇させることにより、該特定のルミネセンス放射(F)を放出させるための励起性が、励起用放射出力の閾値(19)にあたる最大値(18)まで上昇した第1のルミネセンス状態(5)から、該試料(P、24)の、該特定のルミネセンス放射(F)を放出するための励起性が該第1の状態(5)に比べて低減された第2のルミネセンス状態(6)に移行可能であり、その際、該試料(P、24)は、該閾値(19)より高い励起用放射出力を照射することによって該第2の状態(6)に移行可能であり、
少なくとも1つの該閾値(19)より高い出力極大および少なくとも1つの該閾値より低い局所的な出力極小(45)を有する励起用放射分布で、励起用放射(A)の照射が行われることによって、該試料(P、24)は、部分領域(B1)では該第1の状態(5)に移され、隣接する部分領域(B2)では該第2の状態(6)に移され、
ルミネセンスを発する該試料(P、24)の該画像は、該第1の状態(5)にある試料領域(B1)および該第2の状態(6)にある試料領域(B2)を含んでおり、その際、ルミネセンスを発する該試料(P、24)の該画像には、主として該第1の状態(5)にある試料領域(B1)が寄与し、それにより該画像が、該励起用放射分布より高い空間解像度を有する、
方法。
IPC (3件)：
FI (4件)：
Fターム (25件)：
2G043BA16
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043FA03
, 2G043FA06
, 2G043GA01
, 2G043GB01
, 2G043HA01
, 2G043HA09
, 2G043JA02
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AA09
, 2H052AB24
, 2H052AC15
, 2H052AC17
, 2H052AC30
, 2H052AC34
, 2H052AF02
, 2H052AF25
引用特許：
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