特許

J-GLOBAL ID：200903081205803900

触媒作用を有する塩化物と収束電子線を用いる微細構造物の製造方法とその装置

発明者： 下条 雅幸 ,  古屋 一夫
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-075348
公開番号（公開出願番号）：特開2005-262345
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【目的】 数ナノメートルから数百ナノメートルの微細な領域に位置やサイズを制御されたデバイス等の分野に利用可能な微細構造物の製造方法とその装置を提供する。【構成】 密閉された減圧の反応容器(5)に収められたシリコンや有機物フィルム等の基材の表面(4)に該基材に対して触媒作用を有するAlCl3、SiCl4、AuCl3、NaAuCl4等の塩化物の気体を少量ずつ触媒供給ノズル(1)から供給しながら収束電子線(2)を照射する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基材の表面に、該基材に対して触媒作用を有する塩化物の気体を供給するとともに収束電子線を照射して微細加工することを特徴とする微細構造物の製造方法。

IPC (3件)：

B82B3/00 ,  H01J37/30 ,  H01L21/302

FI (3件)：

B82B3/00 ,  H01J37/30 Z ,  H01L21/302 201B

Fターム (7件)：

5C034DD06 ,  5F004BA17 ,  5F004BB01 ,  5F004DA00 ,  5F004DB01 ,  5F004DB23 ,  5F004EA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ナノメ-タ-或はサブナノメ-タ-領域における固体の表面による或は表面上での位置選択性接触化学反応を行う方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-203495   出願人：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト

審査官引用 (2件)

• 特開2041-116077
  
• 観察試料作成方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-131840   出願人：株式会社日立製作所