特許
J-GLOBAL ID：200903029034834540

観察試料作成方法及びその装置

発明者：
斉藤 啓谷

斉藤 啓谷 について

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山口 博司

山口 博司 について

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伊藤 文和

伊藤 文和 について

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東 淳三

東 淳三 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-131840
公開番号（公開出願番号）：特開平8-329876
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 TEMにおいてガス供給系を設け、電子ビームアシストエッチングによりTEM用試料を作成する。【構成】 電子源1より電子ビームを引出し、第一、第二コンデンサレンズ4、5で収束して試料40に照射し、ガスボンベ38、39より反応性ガスをノズル30、31を介して試料に吹き付け、電子ビームを走査して、電子ビームのエネルギーで反応性ガスと試料との化学反応を誘起し、局所的エッチングによって加工する。加工後反応性ガスを排気し、試料のTEM像による観察をする。微細な電子ビームにより高精度で損傷のない最適な厚さのTEM用試料が作成できる。
請求項（抜粋）：
試料の二次電子像により位置決めし、反応性ガス雰囲気中で前記試料に電子ビームを照射し、前記電子ビームの照射部で局所的に反応性エッチングを施し当該試料を所定厚さに加工し、前記加工後に前記反応性ガスを排気し、透過電子顕微鏡観察することを特徴とする観察試料作成方法。
IPC (7件)：
H01J 37/305 ,  C23F 4/02 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244
FI (7件)：
H01J 37/305 A ,  C23F 4/02 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/147 E ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/244 ,  G01N 1/28 F
引用特許：
審査官引用 (23件)
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