電力分割された電極

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-505172
公開番号（公開出願番号）：特表平11-509358
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】上側電極の一部として、そして/または、半導体ウエーファのような基板を、シングル・ウエーファ・エッチング装置のようなプラズマ反応室内で支持する基板支持部として有用な、電力分割された電極。この電力分割電極は、前記基板に均一な処理をもたらすように、高周波電力を供給された複数の電極を有する。前記電極へ供給される前記電力は、電極間ギャップ容量、1つ以上の可変コンデンサ、1つ以上の電流センサ、電力分割器、1つ以上のDCバイアス源、そして/または、電力増幅器を有する回路を介して供給される。クランプする

請求項（抜粋）：

プラズマ反応室に適合可能で、このプラズマ反応室内の基板に均一な処理をもたらすことが可能な電力分割された電極であって、第1のゾーン部分と第2のゾーン部分にそれぞれ亙って分布した第1の電極と第2の電極と、前記プラズマ室内に支持された基板に結合されるプラズマが該基板に均一な処理をもたらすように、前記第1と第2のゾーン部分における高周波電力の分布を制御するためのコンデンサ・ネットワークとを具備した電力分割電極。

IPC (4件)：

H05H 1/46 , H01J 37/32 , H01L 21/3065 , H01L 21/68

FI (4件)：

H05H 1/46 M , H01J 37/32 , H01L 21/68 R , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (18件)

静電チャック及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-162412 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
プラズマ励起用電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-184450 出願人：国際電気株式会社
ドライエッチング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-231619 出願人：三菱電機株式会社

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