特許
J-GLOBAL ID：200903081313241551
マグネトロンスパッタリング用磁石ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279931
公開番号（公開出願番号）：特開2005-042184
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】 ターゲットのエロージョン領域が拡大されるマグネトロンスパッタリング装置用磁石ユニットを提供する。【解決手段】 軸方向に磁化した複数の円弧状磁石体21、23、25と半径方向に磁化した複数の円弧状磁石体22、24とを交互に半径方向に積層した主磁石部材2と、軸方向に磁化した複数の円弧状磁石体31、33、35と半径方向に磁化した複数の円弧状磁石体32、34とを交互に半径方向に積層した前記主磁石部材より円弧角の小さい副磁石部材3とを円筒上に結合しかつ副磁石部材3を円弧の中心側に近づけると共に、半径方向の漏洩磁界の水平方向成分は、2重円状のピーク値を有しかつ内周側のピーク値は外周側のピーク値よりも大となる磁界分布を有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
軸方向に磁化した複数の円弧状磁石体と半径方向に磁化した複数の円弧状磁石体が交互に半径方向に積層された主磁石部材と、軸方向に磁化した複数の円弧状磁石体と半径方向に磁化した複数の円弧状磁石体が交互に半径方向に積層された前記主磁石部材より円弧角の小さい一つ以上の副磁石部材とが円筒状に結合され、前記副磁石部材は前記主磁石部材よりも円弧の中心よりに配置されると共に、半径方向の漏洩磁界の水平方向成分は、2重円状のピーク値を有しかつ内周側のピーク値は外周側のピーク値よりも大となる磁界分布を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用磁石ユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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