特許
J-GLOBAL ID：200903081319132819
金属ボールの形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
花輪 義男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-349346
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186286
出願日： 2002年12月02日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】CSPなどの半導体装置において、半田ボールを簡単な構造で安価な装置を用いて形成する。【解決手段】まず、ウエハ状態のシリコン基板1上の柱状電極8上にスクリーン印刷法によりフラックス14を塗布する。次に、柱状電極8上に塗布されたフラックス14よりもやや上方に印刷マスク15を配置し、印刷マスク15上の所定の箇所に多数の半田ボール10を供給し、印刷マスク15の上面よりもやや上方においてスキージ17を所定の方向に移動させながら、その空気吹き出し口18から空気を矢印で示すように比較的弱く吹き出させる。すると、印刷マスク15の各開口部16内におけるフラックス14上に半田ボール10が1個ずつ配置される。この半田ボールの配置方法は一種のスクリーン印刷法であるので、半田ボールを簡単な構造で安価な装置を用いて形成することができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板上の複数の金属ボール形成領域上に金属ボールを形成する金属ボールの形成方法であって、前記基板上の複数の金属ボール形成領域に対応する部分に開口部を有するマスクを前記基板上に配置し、前記マスク上に多数の金属ボールを供給し、気体吹き出し口を有するスキージを前記マスク上において移動させながら前記気体吹き出し口から気体を前記マスク上の前記金属ボールに吹き付けることにより、前記マスクの各開口部内に前記金属ボールを配置することを特徴とする金属ボールの形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/92 604H
, H01L23/12 501P
