特許
J-GLOBAL ID：200903081349337288

テープ剥離装置及びテープ剥離方法

発明者：
狛 豊

狛 豊 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-295402
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150626
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 機構が簡単で研削装置等に組み込むことが可能なテープ剥離機及びテープ剥離方法を提供する。【解決手段】 板状物品を保護する保護テープとして熱収縮性テープを使用し、所定の作業を終了した後不要となった保護テープを剥離するためのテープ剥離装置20であって、板状物品を保持する保持手段31と、この保持手段に保持された板状物品のテープ面に温水を供給する温水供給手段22と、から少なくとも構成される。このテープ剥離装置20を研削装置等に組み込む。温水供給手段22は、水没式に構成することも可能であり、例えば桶32や温水槽に温水を溜めてその温水に板状物品を漬けて保護テープを剥離するか、又は温水供給管から温水を噴射させて保護テープを剥離することが可能である。
請求項（抜粋）：
板状物品を保護する保護テープとして熱収縮性テープを使用し、所定の作業を終了した後不要となった保護テープを剥離するためのテープ剥離装置であって、前記板状物品を保持する保持手段と、この保持手段に保持された板状物品のテープ面に温水を供給する温水供給手段と、から少なくとも構成されるテープ剥離装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
H01L 21/68 N ,  H01L 21/304 622 P ,  H01L 21/304 622 Q
Fターム (10件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA13 ,  5F031HA59 ,  5F031MA22 ,  5F031MA38
引用特許：
審査官引用 (4件)
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