特許
J-GLOBAL ID:200903081349394656
液晶表示パネルの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西教 圭一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-242610
公開番号(公開出願番号):特開2002-055359
出願日: 2000年08月10日
公開日(公表日): 2002年02月20日
要約:
【要約】【課題】 開口率を低下させることなく、スペーサとコンタクトホールとを形成する。【解決手段】 透明絶縁性基板67のTFT56上にアクリル系樹脂層82が供給され、このアクリル系樹脂層82が未硬化の状態で、表面に凹凸部86を有する転写型83をアクリル系樹脂層82に押圧して、アクリル系樹脂層82にスペーサ79とコンタクトホール59とが形成される。したがって、転写型83の凸部85によって排除されるアクリル系樹脂が排除されやすい。これによって、コンタクトホール59に残存する樹脂量が、先行技術に比較して少なくなり、画素電極52と、TFT56との電気的な接続が確実になる。さらに、転写型83の凹部84に流入する樹脂量が少なくなるので、スペーサ79を小さくすることができ、開口率が向上する。
請求項(抜粋):
相互に対向させた第1および第2基板と、第1および第2基板間を所定の間隔に保持するスペーサと、第1および第2基板間に介在される液晶層と、第1基板に設けられ、液晶の方向を制御する画素電極と、第1基板に設けられ、画素電極を制御する能動素子とを備える液晶表示パネルの製造方法において、前記第1基板上の能動素子上に有機絶縁膜を供給し、表面に凹凸部を有する転写型を前記有機絶縁膜に対向させ、有機絶縁膜が完全未硬化または軟化した状態で、前記転写型を有機絶縁膜に押圧して、有機絶縁膜に凹凸部を転写することによって、有機絶縁膜に凸部から成るスペーサと凹部から成るコンタクトホールとを形成し、前記スペーサと前記コンタクトホールとが形成された有機絶縁膜上に、画素電極となる電極膜を形成することによって、前記能動素子と前記画素電極とを、コンタクトホールを介して、電気的に接続することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
IPC (9件):
G02F 1/1368
, G02F 1/1339 500
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 320
, G09F 9/30 338
, H01L 21/28
, H01L 21/768
, H01L 29/786
, H01L 21/336
FI (8件):
G02F 1/1339 500
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 320
, G09F 9/30 338
, H01L 21/28 L
, G02F 1/136 500
, H01L 21/90 A
, H01L 29/78 612 D
Fターム (67件):
2H089LA04
, 2H089LA09
, 2H089MA04X
, 2H089NA01
, 2H089QA12
, 2H089QA13
, 2H089TA02
, 2H089TA05
, 2H089TA09
, 2H092JA26
, 2H092JA46
, 2H092JB57
, 2H092JB58
, 2H092JB64
, 2H092JB68
, 2H092KB22
, 2H092MA01
, 2H092MA05
, 2H092MA17
, 2H092NA07
, 2H092NA15
, 2H092NA27
, 2H092PA03
, 4M104AA09
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104DD07
, 4M104DD15
, 5C094AA06
, 5C094AA10
, 5C094AA22
, 5C094AA31
, 5C094AA43
, 5C094AA46
, 5C094AA60
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EB02
, 5C094HA08
, 5F033GG04
, 5F033HH38
, 5F033JJ38
, 5F033KK38
, 5F033PP15
, 5F033QQ09
, 5F033QQ54
, 5F033QQ99
, 5F033RR21
, 5F033SS22
, 5F033VV15
, 5F033XX09
, 5F033XX24
, 5F033XX33
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110HK07
, 5F110HK09
, 5F110HK21
, 5F110HK33
, 5F110HL14
, 5F110NN02
, 5F110NN04
, 5F110NN27
, 5F110NN72
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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