表面上での流体の境界付け

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：坂口博 , 市位嘉宏 , 上野剛史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-119127
公開番号（公開出願番号）：特開2005-319460
出願日： 2005年04月18日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

【課題】 2次元のパターンを形成することを可能にする、流体を表面上に境界付けするための技術を提供すること。【解決手段】本発明は、流体を表面に適用するための装置に向けられ、この装置は、第1の流体の流れを該表面の方向に指向させるための第1の導管と、第2の流体の流れを該表面から遠ざかるように指向させるための第2の導管とを含み、該第1の導管は、該装置の作動において、該第2の流体が実質的に該第1の流体を有するように、該第2の導管に対して配置され、該第1の導管は第1のアパーチャを含み、該第2の導管は第2のアパーチャを含み、該第1のアパーチャが該第2のアパーチャからある距離を置いて配置される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流体を表面に適用するための装置であって、第1の流体の流れを前記表面の方向に指向させるための第1の導管と、第2の流体の流れを該表面から遠ざかるように指向させるための第2の導管とを備え、前記第1の導管は、該装置の作動において、前記第2の流体が実質的に前記第1の流体を有するように、前記第2の導管に対して配置され、該第1の導管は第1のアパーチャを含み、該第2の導管は第2のアパーチャを含み、前記第1のアパーチャが前記第2のアパーチャからある距離を置いて配置されたことを特徴とする装置。

IPC (2件)：

B01J19/00 , H01L21/027

FI (3件)：

B01J19/00 D , H01L21/30 502D , H01L21/30 564Z

Fターム (11件)：

4G075AA30 , 4G075AA61 , 4G075BC06 , 4G075BD16 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EC01 , 4G075EE31 , 4G075FC02 , 5F046AA28 , 5F046JA27

引用特許：

出願人引用 (5件)

国際公開PCT WO01/63241 A2号パンフレット
米国特許第6,089,853号明細書
欧州特許第0075 605号明細書

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審査官引用 (4件)

固体支持体表面上にバイオポリマーアレイ類をつくる方法および装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-512877 出願人：ベックマンインスツルメンツインコーポレーテッド
液処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-226578 出願人：東京エレクトロン株式会社
ソースからの粒子を洗浄して受け容器に移すシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-607754 出願人：スミスクライン・ビーチャム・パブリック・リミテッド・カンパニー

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