特許
J-GLOBAL ID：200903081437374371

有機薄膜のパターニング方法、それを利用した有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタを備えた平板表示装置

発明者：
徐 ▲ミン▼徹

徐 ▲ミン▼徹 について

, 
具 在本

具 在本 について


出願人/特許権者：
三星エスディアイ株式会社

三星エスディアイ株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061413
公開番号（公開出願番号）：特開2006-270094
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】有機半導体層の表面損傷を防止できる有機薄膜をパターニングする方法、有機半導体層の表面損傷を防止し、オフ電流を減少させることができる有機薄膜トランジスタ及びその製造方法、有機薄膜トランジスタを備えた有機電界発光表示装置を提供する。【解決手段】基板上に有機薄膜を形成するステップ、有機薄膜の一部分上にマスク物質を選択的にプリンティングするステップ、有機薄膜のうち露出された部分をドライエッチングするステップ、及びマスク物質を除去するステップを含む有機薄膜のパターニング方法である。【選択図】図3C
請求項（抜粋）：
基板上に有機薄膜を形成するステップと、 前記有機薄膜の一部分上にマスク物質を選択的にプリンティングするステップと、 前記マスク物質を利用して前記有機薄膜のうち露出された部分をドライエッチングするステップと、 前記マスク物質を除去するステップと、を含むことを特徴とする有機薄膜のパターニング方法。
IPC (4件)：
H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/40
FI (4件)：
H01L29/78 627C ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 310K
Fターム (15件)：
5F110AA06 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110DD01 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110GG05 ,  5F110NN02 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ04
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 韓国公開特許2004-0028010号公報
  • 韓国公開特許2004-0084427号公報
  • 薄膜トランジスタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-285513   出願人：日本電気株式会社
審査官引用 (2件)

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