特許
J-GLOBAL ID：200903081465604382
磁気ヘッドサスペンションの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-019034
公開番号（公開出願番号）：特開2006-209853
出願日： 2005年01月27日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】低剛性化が求められるサスペンション部材の変形発生を抑制し、治具孔の位置精度も確保するようにした磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供すること。【解決手段】ばね性金属層11/絶縁層12/導電層13からなる積層板を用意し、金属部分11,13のエッチングにより配線部分13aと治具孔11aの部分をパターニングした後、絶縁層12の一部をエッチングにより除去し、次いで所望の後加工を行った後で、エッチングによりばね性金属層13の外形加工を行う。ばね性金属層11の占有率が高く剛性が十分な状態で絶縁層12のエッチング工程を行い、また所望の後加工も行うので、材料として薄い積層体10を使用した場合であっても、これらの工程間での搬送機構の影響を受けて変形することがなく、しかも、治具孔11aの部分だけは先にエッチングを行うので位置精度は確保できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ばね性金属層上に磁気ヘッドと制御回路基板とを接続するための複数本の配線が絶縁層を介して一体的に形成され、組立時に基準となる治具孔を備えた磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、ばね性金属層/絶縁層/導電層からなる積層板を用意し、金属部分のエッチングにより配線部分と治具孔の部分をパターニングした後、絶縁層の一部をエッチングにより除去し、次いで所望の後加工を行った後で、エッチングによりばね性金属層の外形加工を行うことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
5D042NA01
, 5D042PA10
, 5D042TA07
, 5D059AA01
, 5D059BA01
, 5D059CA02
, 5D059DA31
, 5D059DA36
, 5D059EA03
