特許
J-GLOBAL ID：200903081606571793
試料の分離装置及び分離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211510
公開番号（公開出願番号）：特開2000-049062
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】内部に分離用の層を有する貼り合わせ基板を分離する際に欠陥が発生することを防止する。【解決手段】内部に多孔質層101bを有する貼り合わせ基板101を第1及び第2工程の2段階で分離する。第1工程では、貼り合わせ基板101を回転させながら多孔質層101bに向けてジェットを噴射して、多孔質層101bの中央部分を未分離領域として残すようにして、貼り合わせ基板101を部分的に分離する。第2工程では、貼り合わせ基板101の回転を止めた状態で、多孔質層101bに対してジェットを噴射して、これにより、未分離領域に対して所定方向から力を作用させて、貼り合わせ基板101を完全に分離する。
請求項（抜粋）：
内部に分離用の層を有する試料を該分離用の層で分離する分離装置であって、前記分離用の層の所定領域を未分離領域として残すようにして、該分離用の層で前記試料を部分的に分離する第1の分離手段と、前記第1の分離手段により処理された前記試料の前記未分離領域に対して所定方向から力を作用させて前記試料を完全に分離する第2の分離手段と、を備えることを特徴とする分離装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, H01L 21/304 601
, H01L 21/304
, H01L 27/12
H01L 21/02 B
, H01L 21/304 601 Z
, H01L 21/304 601 S
, H01L 27/12 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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