特許
J-GLOBAL ID:200903081641977972

情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及び情報記録媒体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-287370
公開番号(公開出願番号):特開2002-092867
出願日: 2000年09月21日
公開日(公表日): 2002年03月29日
要約:
【要約】【課題】 表面の微小うねりを正確に制御することができ、高密度記録に対応した情報記録媒体(低グライドハイト、低モジュレーション)の基板として用いることができる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及び情報記録媒体用ガラス基板並びに情報記録媒体の製造方法及び情報記録媒体を提供する。【解決手段】 軟質ポリシャの研磨パッド53a,54aを貼りつけた上下定盤53,54の間に情報記録媒体用ガラス基板4をセットして両主表面を研磨する際に、研磨工程後の情報記録媒体用ガラス基板4の主表面の微小うねりの値が、研磨工程で用いる研磨パッド4の表面の表面粗さの値に依存するという現象を利用し、研磨工程で用いる研磨パッド表面4の表面粗さを選定することによって、研磨工程後の情報記録媒体用ガラス基板主表面4の微小うねりが所定の値になるようにした。
請求項(抜粋):
軟質ポリシャの研磨パッドを貼りつけた上下定盤の間に情報記録媒体用ガラス基板をセットして両主表面を研磨する研磨工程を有する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法において、前記研磨工程後の情報記録媒体用ガラス基板主表面の微小うねりの値が、前記研磨工程で用いる研磨パッド表面の表面粗さの値に依存するという現象を利用し、前記研磨工程で用いる研磨パッド表面の表面粗さを選定することによって、前記研磨工程後の情報記録媒体用ガラス基板主表面の微小うねりが所定の値になるようにしたことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。但し、前記微小うねりの値Ra’は、微小うねりの周期が2μm〜4mmのものであって、以下の数式によって表されるものである。【数1】
IPC (2件):
G11B 5/84 ,  B24B 37/04
FI (2件):
G11B 5/84 A ,  B24B 37/04 F
Fターム (9件):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112GA02 ,  5D112GA09
引用特許:
審査官引用 (5件)
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