特許
J-GLOBAL ID：200903081657411626
位置決め装置及び位置決め方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203926
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040652
出願日： 1997年07月15日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 複数枚の基板を同時に位置決め可能にし、かつ装置の小型化を図れるようにすること。【解決手段】 垂直方向に適宜間隔をおいて配設されてウエハWを載置する複数の回転テーブル23と、回転テーブル23上に載置されたウエハWの円周の少なくとも3箇所に接触してウエハWの心出しを行う心出し手段25と、回転テーブル23にクラッチ26を有する伝達機構27を介して連結するサーボモータ28と、回転テーブル23の外周側に配設されて回転するウエハWのノッチWaを検出する検出手段29と、検出手段29の検出信号に基づいてクラッチ26を制御するCPU30とを具備することにより、周囲の一部に判別用ノッチWaを有する複数のウエハWを同時に位置決めすることができる。
請求項（抜粋）：
周囲の一部に判別用切欠を有する複数の基板を位置決めする位置決め装置であって、垂直方向に適宜間隔をおいて配設されて上記基板を載置する複数の回転テーブルと、上記回転テーブルに載置された上記基板の周囲の周縁部の少なくとも3箇所に接触して基板の心出しを行う心出し手段と、上記回転テーブルに接断手段を有する伝達機構を介して連結する回転駆動手段と、上記回転テーブルの外周側に配設されて回転する上記基板の判別用切欠を検出する検出手段と、上記検出手段の検出信号に基づいて上記接断手段を制御する制御手段と、を具備することを特徴とする位置決め装置。
引用特許：
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