特許
J-GLOBAL ID：200903081669879569

液晶装置の製造方法

発明者：
張 惠萍

張 惠萍 について

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中田 英男

中田 英男 について

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関 伸介

関 伸介 について

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田中 貴雄

田中 貴雄 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-128031
公開番号（公開出願番号）：特開2009-276587
出願日： 2008年05月15日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：
【課題】液晶分子のプレチルト角を所望の値に制御可能で、かつ成膜レートが良好で製造装置の小型化が可能であり、防湿性の高い配向膜を形成可能な液晶装置の製造方法を提供する。【解決手段】、一対のターゲット5a,5bがプラズマ生成領域を挟んで対向するスパッタ装置3を用い、ターゲット5a,5bから被処理体となる基板W上に無機材料からなる配向膜材料5pを斜めに放出させて、基板W上に、基板Wの法線Z方向に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造体を有する無機配向層を形成する工程と、無機配向層の表面を官能基としてアルキル基を有するシランカップリング剤で表面処理し、無機配向層の表面に、無機配向層と化学結合した有機材料の単分子膜からなる有機配向層を形成する工程と、を有し、表面処理は、シランカップリング剤を炭素原子数により選択して、液晶分子のプレチルト角を所望の角度に設定することを特徴とする。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
対向して配置された一対の基板間に挟持された液晶層を備え、少なくとも一方の前記基板の内面側に配向膜を形成してなる液晶装置の製造方法であって、 一対のターゲットがプラズマ生成領域を挟んで対向するスパッタ装置を用い、前記ターゲットから被処理体となる前記基板上に無機材料からなる配向膜材料を斜めに放出させて、前記基板上に、該基板の法線方向に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造体を有する無機配向層を形成する工程と、 前記無機配向層の表面を、アルキル基を有するシランカップリング剤で表面処理し、前記無機配向層の表面に、該無機配向層と化学結合した有機材料の単分子膜からなる有機配向層を形成する工程と、を有し、 前記有機配向層を形成する工程において、前記シランカップリング剤を炭素原子数により選択して、液晶分子のプレチルト角を所望の角度に設定することを特徴とする液晶装置の製造方法。
IPC (1件)：
G02F 1/133
FI (3件)：
G02F1/1337 515 ,  G02F1/1337 530 ,  G02F1/1337 505
Fターム (10件)：
2H090HB03Y ,  2H090HB12Y ,  2H090HC16 ,  2H090HD15 ,  2H090KA07 ,  2H090MA01 ,  2H090MA11 ,  2H090MA13 ,  2H090MB06 ,  2H090MB14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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