特許
J-GLOBAL ID：200903081689424622
合成石英ガラス光学部材とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-206788
公開番号（公開出願番号）：特開2000-143259
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】【課題】240nmおよび270nm付近を中心とする光吸収が抑えられ、400nm以下の紫外線波長域で高い透過率を有する合成石英ガラス光学部材とその製造方法の提供。【解決手段】Niの含有量が1ppb以下かつFeの含有量が0.5ppb以下である、400nm以下の紫外線波長域の光に使用される合成石英ガラス光学部材とその製造方法。
請求項（抜粋）：
400nm以下の紫外線波長域の光に使用される合成石英ガラス光学部材において、Niの含有量が1ppb以下かつFeの含有量が0.5ppb以下であることを特徴とする合成石英ガラス光学部材。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03C 3/06
, G02B 1/02
, H01L 21/027
C03B 20/00 F
, C03C 3/06
, G02B 1/02
, H01L 21/30 515 D
