特許

J-GLOBAL ID：200903081694159090

基板熱処理装置

発明者： 久井 章博
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319593
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134383
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】 熱処理の均一性を向上させる基板熱処理装置を提供する。【解決手段】 チャンバー2を吊り下げ支持する支持プレート6にモータ7を配設して、このモータ7の出力軸をチャンバー2の回転軸2aに連結させることで、モータ7が作動するのに伴ってチャンバー2が鉛直軸心周りに回転駆動される。チャンバー2の回転によって処理室30内の気流が攪拌されて、チャンバー2内の雰囲気の温度均一性及び溶剤の揮発時の濃度均一性を簡単に向上させることができる。

請求項（抜粋）：

処理室内で基板の熱処理を行う基板熱処理装置であって、前記処理室内の気流を攪拌させる攪拌手段を備えることを特徴とする基板熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/38 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

G03F 7/38 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/31 A ,  H01L 21/30 567

Fターム (13件)：

2H096DA01 ,  2H096FA01 ,  2H096GB01 ,  2H096GB05 ,  2H096HA01 ,  5F045AA20 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045BB02 ,  5F045DP02 ,  5F045EF13 ,  5F046KA05 ,  5F046KA10

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-167864   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• ベーキング装置及びベーキング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096509   出願人：住友電気工業株式会社
• 基板熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-178010   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (3件)

• 基板熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-167864   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• ベーキング装置及びベーキング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096509   出願人：住友電気工業株式会社
• 基板熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-178010   出願人：大日本スクリーン製造株式会社