特許
J-GLOBAL ID：200903081807588414
強誘電体膜の損傷層を除去するための清浄液及びこれを利用した清浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-076596
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025967
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 強誘電体膜の損傷層を除去するための清浄液及びこれを利用した清浄方法を提供する。【解決手段】 フッ化物、カルボキシル基を含む有機酸、アルカリ性pH調節剤及び水を含む洗浄液を用いる。清浄液のpH範囲は4.5ないし6.5である。これにより、長時間一定の清浄力を維持でき、強誘電体膜の損傷層を選択的に除去することができる。
請求項（抜粋）：
フッ化物と、カルボキシル基を含む有機酸と、アルカリ性pH調節剤と、水とを含む強誘電体膜の損傷層を選択的に除去するための清浄液。
IPC (5件)：
H01L 21/304 647
, H01L 21/304 641
, H01G 4/33
, H01G 13/00 391
, H01L 27/105
H01L 21/304 647 A
, H01L 21/304 641
, H01G 13/00 391 Z
, H01G 4/06 102
, H01L 27/10 444 C
