マイクロマシン技術(MEMS)スイッチ用のビーム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-511387
公開番号（公開出願番号）：特表2007-535797
出願日： 2005年04月13日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：

【課題】マイクロマシン技術(MEMS)スイッチ用のビームを提供する。【解決手段】カンチレバービームを有するRFマイクロマシン技術(MEMS)スイッチは、応力勾配が小さいポリシリコンと金属コンタクトから形成されるとしてもよい。本発明の幾つかの実施形態によれば、ビームと基板の間の領域には誘電体が存在しない構成としてもよい。また、酸化物層が窒化物保護層によって保護されるとしてもよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属コンタクトに接続された応力勾配が小さいポリシリコン部分を持つカンチレバービームを備えるMEMSスイッチを形成することを含む方法。

IPC (3件)：

H01H 59/00 , H01H 49/00 , B81C 1/00

FI (3件)：

H01H59/00 , H01H49/00 L , B81C1/00

Fターム (11件)：

3C081AA09 , 3C081BA43 , 3C081BA46 , 3C081BA53 , 3C081CA03 , 3C081CA13 , 3C081CA30 , 3C081DA02 , 3C081DA29 , 3C081DA30 , 3C081EA23

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-269416
静電型可動接点素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-006444 出願人：日本電信電話株式会社
マイクロスイッチおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-265285 出願人：日本電気株式会社

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