特許
J-GLOBAL ID：200903091007425075
マイクロリレー及びマイクロリレーの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-324384
公開番号（公開出願番号）：特開2004-127871
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】密封性に優れ、製造工程を簡素化できるマイクロリレーを提供する。【解決手段】固定接点及び固定電極を有する固定基板と、該固定基板に対向して配置したキャップ基板と、前記固定基板と前記キャップ基板との間に配置した可動板とを備え、前記可動板は枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、前記枠部は前記固定基板と前記キャップ基板との間で密封接合され、前記可動部は前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記固定基板と前記キャップ基板との間を移動する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固定接点及び固定電極を有する固定基板と、該固定基板に対向して配置したキャップ基板と、前記固定基板と前記キャップ基板との間に配置した可動板とを備え、
前記可動板は、枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、
前記枠部は前記固定基板と前記キャップ基板との間で密封接合され、
前記可動部は、前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記固定基板と前記キャップ基板との間を移動することを特徴とするマイクロリレー。
IPC (6件)：
H01H59/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H11/00
, H01H11/04
, H01H49/00
H01H59/00
, B81B3/00
, B81C1/00
, H01H11/00 V
, H01H11/04 G
, H01H49/00 J
5G023CA15
, 5G023CA25
, 5G023CA27
, 5G023CA29
, 5G023CA30
, 5G023CA43
