特許
J-GLOBAL ID:200903081951025505
光変調素子、アレイ型光変調素子、及びその駆動方法、並びに平面表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-012034
公開番号(公開出願番号):特開2000-214394
出願日: 1999年01月20日
公開日(公表日): 2000年08月04日
要約:
【要約】【課題】 単純マトリクスのような簡単な安価な構成で、TFTを用いたアクティブマトリクス駆動と同様の高速、高精細な表示動作が可能な静電気応力型の光変調素子と、その駆動方法並びに平面表示装置を提供する。【解決手段】 可動子15に対して第1の電気機械力を発生させ、可動子の変位により光の透過率を変化させる電気機械動作の光変調素子において、可動子に対して水平方向の第1の電気機械力29と異なる垂直方向に第2の電気機械力25を発生、解除させる駆動手段を設け、れにより、可動子の変位状態を維持又は解除するようにして、第1と第2の独立に駆動制御できる電気機械力により、アクティブで安定なマトリクス駆動を構成するものである。
請求項(抜粋):
可動子に対して第1の電気機械力を発生させ、該可動子の変位により光の透過率を変化させる電気機械動作の光変調素子において、前記可動子に対して前記第1の電気機械力と異なる方向に第2の電気機械力を発生又は解除させる駆動手段を設け、前記駆動手段により前記可動子の変位状態を保持又は解除することを特徴とする光変調素子。
IPC (2件):
G02B 26/02
, G09F 9/37 304
FI (2件):
G02B 26/02 B
, G09F 9/37 304
Fターム (38件):
2H041AA05
, 2H041AA16
, 2H041AA21
, 2H041AB02
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 5C094AA06
, 5C094AA10
, 5C094AA12
, 5C094AA13
, 5C094AA24
, 5C094AA44
, 5C094AA48
, 5C094AA54
, 5C094BA03
, 5C094BA09
, 5C094BA12
, 5C094BA65
, 5C094BA66
, 5C094BA71
, 5C094BA82
, 5C094BA84
, 5C094BA87
, 5C094BA95
, 5C094BA97
, 5C094CA19
, 5C094CA23
, 5C094CA25
, 5C094DA11
, 5C094DB02
, 5C094DB04
, 5C094EA04
, 5C094EA10
, 5C094EB02
, 5C094ED15
, 5C094FA01
, 5C094FA02
, 5C094GA10
引用特許:
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