特許
J-GLOBAL ID:200903081968282536

圧電積層体及び圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-095005
公開番号(公開出願番号):特開2006-278668
出願日: 2005年03月29日
公開日(公表日): 2006年10月12日
要約:
【課題】電圧印加による変形を繰り返しても変形量の減少が少ない圧電積層体、圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電セラミックスを主体とする圧電体層と導体層とをそれぞれ複数ずつ積層してなる積層体からなり、該積層体の全体厚みTが50μm以下、前記積層体の全体厚みTに対する前記導体層の各厚みの合計厚みtの比t/Tが0.1以下、X線回折測定における前記圧電セラミックスの(200)面のピーク強度I(200)に対する(002)面のピーク強度I(002)の比I(002)/I(200)が1.8以下であることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
圧電セラミックスを主体とする圧電体層と導体層とを積層してなる積層体からなり、該積層体の全体厚みTが50μm以下、前記積層体の全体厚みTに対する前記導体層の合計厚みtの比t/Tが0.1以下、X線回折測定における前記圧電セラミックスの(200)面のピーク強度I(200)に対する(002)面のピーク強度I(002)の比I(002)/I(200)が1.8以下であることを特徴とする圧電積層体。
IPC (5件):
H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (7件):
H01L41/08 J ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A
Fターム (6件):
2C057AF51 ,  2C057AG42 ,  2C057AG47 ,  2C057AP15 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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