特許
J-GLOBAL ID：200903081968597928
ウエハの表面清浄化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-047458
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252225
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 ウエハに付着した汚染不純物を簡易な手法で処理して、ウエハの表面を清浄化する方法を提供する。【解決手段】 本方法は、ウエハ表面に付着した汚染不純物を処理してウエハのの表面を清浄化する方法であって、ウエハに酸化性雰囲気内で熱処理を施す工程を備え、汚染不純物を酸化物、又は水酸化物に転化し、脱離させる。酸化性雰囲気は、O2ガスを含むドライ酸化性雰囲気か、又は水蒸気を含むパイロ酸化性雰囲気とする。熱処理温度が300°C以上である。
請求項（抜粋）：
ウエハ表面に付着した汚染不純物を処理してウエハの表面を清浄化する方法であって、酸化性雰囲気内でウエハに熱処理を施し、汚染不純物を酸化物、又は水酸化物に転化して、脱離させる工程を備えることを特徴とするウエハの表面清浄化方法。
引用特許：
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