静電チャック

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107113
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293774
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】耐プラズマ性に優れるとともに、被保持物と吸着面との間に流れる漏れ電流が少なく、かつ被保持物を高い吸着力でもって保持することができる静電チャックを提供する。【解決手段】静電作用により被保持物を吸着保持する静電チャックの吸着面をイットリウム-アルミニウム-ガーネット材で構成する。

請求項（抜粋）：

静電作用により被保持物を吸着保持する吸着面をイットリウム-アルミニウム-ガーネット材により形成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (1件)

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