特許
J-GLOBAL ID：200903082119760706

被加工物の分割加工方法

発明者：
カール・プリワッサ

カール・プリワッサ について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008985
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208445
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 CSP基板等の被加工物を分割加工して個々のペレットとし、そのペレットをピックアップする場合において、分割時に被加工物に貼着される保持テープの剥離や、保持テープを介して被加工物と一体となって支持するフレームの回収といった作業を不要として生産性を高めると共に、保持テープの無駄を防止して経済性を高める。【解決手段】 被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物をペレットに分割する切削手段とを少なくとも含む切削装置を用いた被加工物の分割加工方法であって、被加工物の保持テーブルに対面する側の面に被加工物と略同じ大きさの保持部材を取り付ける保持部材取付工程と、被加工物の保持部材が取り付けられた側の面を保持テーブルに対面させて保持する保持工程と、保持テーブルに保持された被加工物を切削手段によってペレットに分割する分割工程と、分割されたペレットを保持部材からピックアップするピックアップ工程とから構成される被加工物の分割加工方法を提供する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物をペレットに分割する切削手段とを少なくとも含む切削装置を用いた被加工物の分割加工方法であって、被加工物の該保持テーブルに対面する側の面に該被加工物と略同じ大きさの保持部材を取り付ける保持部材取付工程と、該保持部材が取り付けられた側の面を該保持テーブルに対面させて該被加工物を保持する保持工程と、該保持テーブルに保持された被加工物を該切削手段によってペレットに分割する分割工程と、分割されたペレットを該保持部材からピックアップするピックアップ工程とから構成される被加工物の分割加工方法。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L 21/78 F ,  H01L 21/68 E ,  H01L 21/78 P
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031DA13 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA48 ,  5F031MA23 ,  5F031MA34 ,  5F031MA38
引用特許：
審査官引用 (6件)
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