特許
J-GLOBAL ID：200903082151739719
巻取り式真空蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283045
公開番号（公開出願番号）：特開平8-144041
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】原反フィルムや後加工を終えた原反フィルムの表面に付着する粉塵などの異物を蒸着直前に除去して、高品質の金属蒸着フィルムを安定して製造可能な巻取り式真空蒸着装置を提供する。【構成】蒸着前の原反フィルムに付着する粉塵を除去する超音波洗浄装置を、蒸着工程の前工程としてインライン方式で、巻取り式真空蒸着装置内に組み込む。
請求項（抜粋）：
蒸着前の原反フィルムに付着する粉塵を除去する超音波洗浄装置を、蒸着工程の前工程としてインライン方式で、蒸着装置内に組み込んだことを特徴とする巻取り式真空蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/02
, C23C 14/56
, B08B 3/12
