特許
J-GLOBAL ID：200903082186116099

平面研磨装置

発明者：
小田桐 茂

小田桐 茂 について

, 
中條 吉広

中條 吉広 について


出願人/特許権者：
スピードファム株式会社

スピードファム株式会社 について


代理人 (4件)： 林 宏 ,  林 直生樹 ,  堀 宏太郎 ,  吉迫 大祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-185893
公開番号（公開出願番号）：特開2008-012623
出願日： 2006年07月05日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】ピン歯車式のサンギア及びインターナルギアを備えた研磨装置において、ピンに装着されたカラーの抜け出しを防止するための機構を、構成が簡単で歯部の保守管理が容易であると共に、必要数のカラーを簡単かつ効率良く交換できるように構成する。【解決手段】サンギア及びインターナルギアの歯を形成するピン20に、下端部にフランジ21aを有するカラー21を装着し、該カラー21のピン20からの抜け出し防止するカラー押さえ26を、円環状をなすピン列の内周側又は外周側の何れか一方に、複数のピン20に沿って延在すると共に、上記フランジ21aの一部に上方から係止することによって複数のカラー21の抜け出しを同時に防止可能なるように配設し、ギア本体3Aに螺子27で着脱自在に取り付ける。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
キャリアに噛合して該キャリアを回転させるピン歯車形式のサンギア及びインターナルギアと、上記キャリアに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上下の定盤とを備えた平面研磨装置において、 上記サンギア及びインターナルギアが、円形のギア本体と、このギア本体上に一定ピッチで円環状に取り付けられた複数のピンと、各ピンに嵌合する円筒状のカラーと、このカラーに係止して該カラーがピンから抜け出すのを防止するカラー押さえとを有し、 上記両ギアのうち少なくとも一方においては、上記カラーが、上記キャリアとの噛合位置より下方の外周部分に係止用のフランジを有し、また、上記カラー押さえが、円環をなすピン列の内周側又は外周側の何れか一方に、複数のピンに沿って延在すると共に、上記カラーのフランジの一部に上方から係止することによって複数のカラーの抜け出しを同時に防止可能なるように配設され、上記ギア本体に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする平面研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B37/04 F ,  B24B37/04 Z ,  H01L21/304 621A
Fターム (6件)：
3C058AA07 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058AB09 ,  3C058CB04 ,  3C058DA18
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 実開平2-130748号公報
  • 研磨機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-352916   出願人：ペーター・ヴォルタース・ヴェルクツォイクマシーネン・ゲーエムベーハー
  • 研磨装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-228059   出願人：不二越機械工業株式会社
審査官引用 (2件)

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