相補的なセンサを用いた測定処理制御のための方法および装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-563776
公開番号（公開出願番号）：特表2006-511801
出願日： 2003年12月17日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【解決手段】ウエハの層の厚さを検出するための方法が提供されている。その方法は、処理されるウエハを保持するよう構成されたウエハキャリアの特定の半径の規定を備える。その方法は、さらに、1組の相補的なセンサを形成するよう構成された複数のセンサの準備を備える。さらに、その方法は、複数のセンサの内の各センサと、隣接するセンサとの位相が、同じ角度だけずれるように、ウエハキャリア内の特定の半径に沿う複数のセンサの配置を備える。その方法は、さらに、複数のセンサによって生成された信号の測定を備える。さらに、合成信号を生成するために、複数のセンサによって生成された信号の平均化が備えられている。平均化は、合成信号が、層の厚さを特定するよう相関を有することができるように、合成信号からノイズを除去するよう構成されている。

請求項（抜粋）：

ウエハの層の厚さを検出するための方法であって、処理される前記ウエハを保持するよう構成されたウエハキャリアの特定の半径を規定し、 1組の相補的なセンサを形成するよう構成された複数のセンサを準備し、各センサと、隣接するセンサとの位相が、同じ角度だけずれるように、前記ウエハキャリア内の前記特定の半径に沿って前記複数のセンサを配置し、前記複数のセンサによって生成された信号を測定し、合成信号を生成するために、前記複数のセンサによって生成された前記信号を平均化することを備え、前記平均化は、前記合成信号における振動の阻害(oscillating disturbance)を抑圧するよう構成されており、前記合成信号は、前記層の前記厚さを特定するように相関することができる、方法。

IPC (4件)：

G01B 21/08 , H01L 21/304 , H01L 21/66 , G01B 7/06

FI (4件)：

G01B21/08 , H01L21/304 622S , H01L21/66 P , G01B7/10 Z

Fターム (36件)：

2F063AA16 , 2F063BA30 , 2F063BB06 , 2F063BC06 , 2F063CA08 , 2F063DA01 , 2F063DB07 , 2F063DD03 , 2F063DD04 , 2F063DD05 , 2F063DD06 , 2F063GA08 , 2F063LA16 , 2F069AA46 , 2F069BB15 , 2F069CC07 , 2F069DD30 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG11 , 2F069GG58 , 2F069GG63 , 2F069GG64 , 2F069GG65 , 2F069GG66 , 2F069HH30 , 2F069JJ10 , 2F069NN26 , 4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA48 , 4M106DH03 , 4M106DH19 , 4M106DH57 , 4M106DJ17 , 4M106DJ39

引用特許：

審査官引用 (6件)

フィルム厚の変化のその場での監視方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-087858 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
距離センサおよび距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-090805 出願人：株式会社フォトニクス
特開昭63-107022

全件表示

前のページに戻る