成膜装置および成膜方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：米田潤三 , 皿田秀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412917
公開番号（公開出願番号）：特開2005-169267
出願日： 2003年12月11日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】真空成膜と減圧下での塗工成膜を併用することにより、均一な成膜が可能である成膜装置と、所望の機能膜を安定して形成するための成膜方法を提供する。【解決手段】成膜装置は、排気ポンプを有する少なくとも1つの真空成膜室と、排気ポンプを有する1つの塗工成膜室と、真空成膜室と塗工成膜室との間で被成膜体を減圧条件下で搬送するための搬送機構と、を少なくとも備えたものとし、また、成膜方法は、成膜の開始から完了まで被成膜体を減圧条件下に置いて、真空成膜法による成膜と減圧条件下での塗工成膜法による成膜とからなる重層成膜を被成膜体に対して行うものとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの真空成膜室と、該真空成膜室内を減圧するための排気ポンプと、少なくとも1つの塗工成膜室と、該塗工成膜室内を減圧するための排気ポンプと、前記真空成膜室と前記塗工成膜室との間で被成膜体を減圧条件下で搬送可能な搬送機構と、を少なくとも備えることを特徴とする成膜装置。

IPC (4件)：

B05C9/12 , B05D3/12 , C23C14/56 , H01B13/00

FI (5件)：

B05C9/12 , B05D3/12 A , C23C14/56 B , C23C14/56 G , H01B13/00 503Z

Fターム (61件)：

4D075AA02 , 4D075AA04 , 4D075AA38 , 4D075AA67 , 4D075AE03 , 4D075BB26Z , 4D075BB42Z , 4D075BB44Y , 4D075BB46Z , 4D075BB47Z , 4D075BB49Y , 4D075BB56Y , 4D075BB85Y , 4D075CA02 , 4D075CA07 , 4D075CA15 , 4D075CA22 , 4D075CA23 , 4D075CA42 , 4D075CB02 , 4D075CB04 , 4D075CB06 , 4D075CB07 , 4D075CB11 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DA20 , 4D075DA23 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB31 , 4D075DC24 , 4D075DC36 , 4D075DC38 , 4D075DC43 , 4D075EA07 , 4D075EA21 , 4D075EB01 , 4D075EB22 , 4D075EB43 , 4F042AA02 , 4F042AA22 , 4F042DB01 , 4F042DB41 , 4F042DB51 , 4F042DB52 , 4K029AA02 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029AA25 , 4K029BA45 , 4K029BA50 , 4K029BC03 , 4K029BC08 , 4K029BC09 , 4K029CA06 , 4K029FA07 , 4K029GA03 , 4K029KA09 , 5G323AA03

引用特許：

出願人引用 (6件)

低複屈折光学部材、その成形用樹脂組成物及び光学部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-025624 出願人：三菱化学株式会社
米国特許第4776520号公報
米国特許第4899936号公報

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審査官引用 (6件)

特開平4-314349
薄膜製造方法および薄膜製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007419 出願人：工業技術院長, 大日精化工業株式会社, 平賀隆, 守谷哲郎
特開平3-044058

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