特許
J-GLOBAL ID：200903082204273202
光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-116513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293221
出願日： 1997年04月19日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 短時間で安価に高い加工精度で光導波路を製造することができる生産性に優れた光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】 基板10の主面上に、光導波路のコアに相当する導波層12を印刷により形成する。印刷による方法は形成精度が低いため、導波層12の形状は必ずしも良好とは言えず、例えば側面に不要な端部12A,12Bができる。そこで、印刷した導波層12の側面にレーザ光Lを照射し、導波層12に沿って走査することで、導波層12の端部12A,12Bを除去する加工が行われる。これにより、導波層12の端部12A,12Bが良好に除去されてコア部14が形成される。そして、これらコア14部上に、例えばスピンコート法によりクラッド部16を形成する。
請求項（抜粋）：
基板上に高屈折率材料によって導波路を形成する光導波路の製造方法において、前記高屈折率材料を印刷して導波層を形成する第1のステップ;これによって形成された導波層をレーザにより加工して導波路を形成する第2のステップ;を備えたことを特徴とする光導波路の製造方法。
引用特許：
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