特許
J-GLOBAL ID：200903082251661687
ケルビンプローブ及び接触子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
稲垣 仁義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-311331
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144663
出願日： 2002年10月25日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】検査用電極が極小化しても、また測定対象ビアホールの形状にかかわらず、その電極面において四端子測定を高精度且つ簡単に行うことができるケルビンプロ-ブを提供する。【解決手段】バネ性を有する薄板で形成した接触子で第1の絶縁体を挟持したプロ-ブを、両接触子の先端が突出するようにプレートで挟持してなり、前記両接触子は、被測定物に当たると独立して弾性変形して移動し、押圧を解くと元の位置に復帰し得るように構成した。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
バネ性を有する薄板で形成した接触子で第1の絶縁体を挟持したプロ-ブを、両接触子の頭部(コンタクト)外周の少なくとも一部が突出するようにプレートで挟持してなり、前記両接触子は、その頭部が被測定物に当たると独立して弾性変形して移動し得るように構成したことを特徴とするケルビンプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R1/073 A
, G01R31/26 J
2G003AA10
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G003AH05
, 2G011AA13
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AC31
, 2G011AE03
審査官引用 (3件)
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テスト用端子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-299744
出願人：谷電機工業株式会社
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高周波領域で使用するプロ-ブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-261213
出願人：有限会社清田製作所, 株式会社キャンドックスシステムズ
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集積伝送構造
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-106459
出願人：株式会社日立製作所
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