観察装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上田邦生 , 藤田考晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-025545
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186679
出願日： 2008年02月05日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】送り機構のバックラッシュやステッピングモータの脱調、あるいはピエゾアクチュエータのヒステリシス等の影響を受けることなく、対物レンズの焦点位置を精度よく数μm移動させる。【解決手段】所定の波長の光を出射する光源3と、該光源3から出射された光を観察対象Aに照射する照明光学系4と、該照明光学系4により観察対象Aに照射された光の観察対象Aにおける透過光を集光する検出光学系5と、該検出光学系5により集光された透過光を撮影する撮像素子6とを備え、検出光学系5が、光軸Cに交差する方向に移動可能に支持された可動部材12と、光軸C方向に焦点位置をずらした状態で可動部材12に固定された略同一の光学性能を有する2以上の対物レンズ13とを備える観察装置1を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の波長の光を出射する光源と、該光源から出射された光を観察対象に照射する照明光学系と、該照明光学系により観察対象に照射された光の観察対象における透過光を集光する検出光学系と、該検出光学系により集光された透過光を撮影する撮像素子とを備え、前記検出光学系が、光軸に交差する方向に移動可能に支持された可動部材と、光軸方向に焦点位置をずらした状態で前記可動部材に固定された略同一の光学性能を有する2以上の対物レンズとを備える観察装置。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 21/36 , G02B 7/04

FI (3件)：

G02B21/00 , G02B21/36 , G02B7/04 C

Fターム (4件)：

2H044BB00 , 2H052AB01 , 2H052AD33 , 2H052AF14

引用特許：

出願人引用 (1件)

国際公開第00/26622号パンフレット

審査官引用 (7件)

放射波動場の位相決定
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-579955 出願人：ザユニバーシティオブメルボルン
光スポット検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-054285 出願人：株式会社三協精機製作所
顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-095520 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る