特許
J-GLOBAL ID：200903082303315952
幅測定方法および表面性状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-424481
公開番号（公開出願番号）：特開2005-037353
出願日： 2003年12月22日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 本発明の目的は、表面性状測定機によって複雑なワーク上の溝などの凹部やつばなどの凸部などの複雑な特徴部位の幅、厚み、高さ、深さ、直径について精度よく正確かつ容易に測定が行える測定機と測定方法を提供することにある。【解決手段】 ワークに対して複数の測定姿勢を取ることが可能な検出器を備えた表面性状測定機によって、検出器の第1の姿勢でのワークの第1面の測定結果と、検出器の第2の姿勢でのワークの第2面の測定結果を得たのち、ワークの第1面の測定結果のデータ中の指定点とワークの第2面の測定データ中の対応点に基づいて幅データを算出する手順を備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定物に対する相対測定姿勢変更可能な検出器を備えた表面性状測定機により前記被測定物の表面を走査して測定データを得て、該測定データに基づいて幅の測定を行う幅測定方法であって、
前記検出器を第1姿勢に保持し、該姿勢における前記検出器の校正を行う第1校正工程と、
前記検出器を第2姿勢に保持し、該姿勢における前記検出器の校正を行う第2校正工程と、
前記検出器の前記第1姿勢で前記被測定物の第1表面上を走査して第1測定データを得る第1測定工程と、
前記検出器の前記第2姿勢で前記被測定物の第2表面上を走査して第2測定データを得る第2測定工程と、
前記第1測定データと前記第2測定データとに基づいて幅演算処理を行って幅データを得る幅演算工程と、
前記幅データに統計処理を施して幅測定結果を得る幅統計工程と、
を含むことを特徴とする幅測定方法。
IPC (3件)：
G01B21/02
, G01B21/10
, G01B21/20
G01B21/02 Z
, G01B21/10
, G01B21/20 C
2F069AA21
, 2F069AA49
, 2F069AA60
, 2F069AA66
, 2F069DD20
, 2F069FF03
, 2F069GG01
, 2F069GG62
, 2F069HH01
, 2F069JJ15
, 2F069JJ17
, 2F069NN09
, 2F069NN26
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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