特許

J-GLOBAL ID：200903082334826289

チャックテーブル洗浄装置

発明者： 篠山 洋 ,  田中 振一
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035746
公開番号（公開出願番号）：特開平11-226521
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 研磨装置等の加工装置に配設される洗浄装置を用い、被加工物を保持するチャックテーブルの上面若しくは該チャックテーブルに保持された被加工物の表面にブラシ等の洗浄作用部を当接させると共にチャックテーブルを回転させて洗浄する場合に、洗浄作用部が摩耗していた場合にも、確実に洗浄を行う。【解決手段】 洗浄装置に洗浄作用部の回転の有無を検出する回転検出手段を配設し、チャックテーブルの回転に伴って洗浄作用部が連れ回って回転したときの洗浄作用部の位置を作用位置とし、作用位置において駆動源を駆動して洗浄作用部に充分な回転力を与え、洗浄作用部が摩耗していても確実に洗浄を遂行できるようにする。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する回転可能なチャックテーブルの上面または該チャックテーブルに保持された被加工物の表面を洗浄するためのチャックテーブル洗浄装置であって、作用位置と被作用位置とに位置付けられ、作用位置に位置付けられた際にチャックテーブルの上面または該チャックテーブルに保持された被加工物の表面に当接して回転しながら洗浄を遂行する洗浄作用部を備えた洗浄手段と、該洗浄手段への回転力の伝達及び該回転力の遮断を行うクラッチ手段と、該クラッチ手段に連結されて回転力を発生する駆動源とを含み、該洗浄手段には、洗浄作用部の回転の有無を検出する回転検出手段を配設したチャックテーブル洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 11/02 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/301

FI (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 11/02 ,  H01L 21/304 622 G ,  H01L 21/78 M

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ブラシ回転式基板洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-039037   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 洗浄処理装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-030601   出願人：株式会社芝浦製作所
• 清掃装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-152221   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-219570
  

審査官引用 (4件)

• ブラシ回転式基板洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-039037   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 洗浄処理装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-030601   出願人：株式会社芝浦製作所
• 清掃装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-152221   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭61-219570