特許
J-GLOBAL ID：200903082389878520
熱物性測定装置及び熱物性測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-106655
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303597
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：
【要約】【課題】交流加熱で薄膜の熱伝導率を求める際に、測定精度を高める技術を提供する。【解決手段】本発明では、交流電源21で試料40表面の金属薄膜43に交流電圧を印加して発熱させ、レーザ照射手段12で金属薄膜43表面の測定位置にスポット状のレーザ光を照射し、光検出装置13でその反射光を検出し、検出結果を測定装置22が解析して、金属薄膜43の測定位置における温度を測定している。このように光学的に温度を測定しているので、従来のように、加熱するために印加する交流電圧と、測定する電圧とが干渉することはないので、従来と異なり印加する交流電圧の周波数に上限はなく、幅広い周波数範囲の交流電圧を印加して温度測定をすることができる。
請求項（抜粋）：
測定対象物の熱物性を測定する熱物性測定装置であって、前記測定対象物に交流電圧を印加して、前記測定対象物を発熱させる通電手段と、前記測定対象物表面の測定位置に光を照射する照射手段と、前記測定位置における前記光の反射光を検出する光検出手段と、前記反射光の検出結果に基づいて、前記測定位置における前記測定対象物の温度を求める測定手段とを備えた熱物性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 25/18 E
, G01K 11/00 Z
2F056TZ07
, 2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040BA26
, 2G040BA27
, 2G040CA02
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA01
, 2G040DA12
, 2G040EA02
, 2G040EB02
, 2G040EC03
, 2G040HA15
, 2G040HA16
