特許
J-GLOBAL ID：200903082419670512

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者：
谷津 修

谷津 修 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021591
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223396
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 コヒーレント光源を用いた場合でもコヒーレンシーの低減を十分に行うことができ、振動に対する安定性が高く光学調整が容易な照明光学装置。【解決手段】 光源(1)から基準光軸(AX)に沿って入射する光束を透過光束と反射光束とに分割するビームスプリッタ(30)と、該ビームスプリッタからの反射光束を偶数回に亘って偏向させた後にビームスプリッタへ向けるように形成された遅延光路(31〜34)とを有する。遅延光路は、基準光軸に対してほぼ平行に位置ずれした状態で入射する光束に対してもビームスプリッタから射出される複数の光束をほぼ同じ光軸に沿って射出させるために、分割された反射光束を基準光軸から位置ずれした元の入射位置へ戻すように形成されている。
請求項（抜粋）：
コヒーレントな光束を供給する光源と、前記光源から基準光軸に沿って入射する光束の一部を前記基準光軸とほぼ一致する第1の光軸に沿って第1光束として射出させつつ前記基準光軸に沿って入射する光束の一部を前記基準光軸とは異なる方向の第2の光軸に沿って第2光束として射出するためのビームスプリッタと、該ビームスプリッタからの前記第2光束を偶数回に亘って偏向させた後に前記ビームスプリッタへ向けるように形成され前記光源からの光束の時間的可干渉距離以上に設定された光路長を有する遅延光路とを有する分割遅延手段とを備え、前記遅延光路は、前記基準光軸に対してほぼ平行に位置ずれした状態で入射する光束に対しても前記第1光束と前記第2光束とをほぼ同じ光軸に沿って射出させるために、前記第2の光軸に沿って分割された前記第2光束を前記基準光軸から位置ずれした元の入射位置へ戻すように形成されていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521
FI (4件)：
H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527
Fターム (13件)：
2H097CA06 ,  2H097CA13 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02 ,  5F046CB07 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA11
引用特許：
審査官引用 (13件)
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