照明光学装置および露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117434
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312631
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザー光源を使用した場合でも、十分なコヒーレンシーの低減を行うことのできる照明光学装置及びそれを用いた露光装置を提供する。【解決手段】微小コヒーレント素光源が多数集まって形成されたコヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光束を分割し、分割された一方の光束を遅延光路に廻し、再び分割した光路に戻す光遅延素子と、を有する照明光学系において、前記光遅延素子の遅延光路の光路長を、前記微小コヒーレント素光源の可干渉長以上に設定する事を特徴とする照明光学装置を提供する。また、この照明光学装置を備えた露光装置及び露光方法を提供する。

請求項（抜粋）：

微小コヒーレント素光源が多数集まって形成されたコヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光束を分割し、分割された一方の光束を遅延光路に廻し、再び分割した光路に戻す光遅延素子と、を有する照明光学系において、前記光遅延素子の遅延光路の光路長を、前記微小コヒーレント素光源の可干渉長以上に設定する事を特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02B 27/09 , G03F 7/20 502 , G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 527 , G03F 7/20 502 , G03F 7/20 521 , G02B 27/00 E , H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-215930
露光照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-235115 出願人：ソニー株式会社
レーザ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-338213 出願人：石川島播磨重工業株式会社, アイ・シー・エイ・テクノロジー株式会社

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