特許
J-GLOBAL ID：200903082425038330

単結晶ダイヤモンド膜の形成方法

発明者：
橘 武史

橘 武史 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184036
公開番号（公開出願番号）：特開平10-007492
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：
【要約】【課題】 大面積の単結晶ダイヤモンド膜を低コストで得ることができると共に、内部に結晶欠陥が形成されることなく、完全な単結晶膜を気相合成することができる単結晶ダイヤモンド膜の形成方法を提供する。【解決手段】 単結晶ダイヤモンド膜は、(111)結晶面を有し、白金若しくは白金を50原子%以上含有する白金合金からなる基板又は膜を有する基板を使用して、この基板を水素を含有するプラズマ雰囲気で300°C以上に熱した後、気相合成することにより得られる。また、これらの基板上にダイヤモンド膜を気相合成する際に、気相中にエチレンガスを添加することによっても、単結晶ダイヤモンド膜を得ることができる。
請求項（抜粋）：
(100)結晶面を有し、白金若しくは白金を50原子%以上含有する白金合金からなる基板又は膜を水素を含有するプラズマ雰囲気で300°C以上に熱した後、気相合成によりダイヤモンド膜を形成することを特徴とする単結晶ダイヤモンド膜の形成方法。
IPC (2件)：
C30B 29/04 ,  C30B 25/18
FI (4件)：
C30B 29/04 B ,  C30B 29/04 P ,  C30B 29/04 Q ,  C30B 25/18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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