導波路型熱光学位相シフタおよびその光回路

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：光石俊郎 , 田中康幸 , 松元洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-184322
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058858
出願日： 2005年06月24日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】断熱溝構造を有する光導波路と薄膜ヒータによって構成され、熱光学効果を利用した光の位相シフタにおいてより低い消費電力およびより高密度な回路を提供するための構成を最適化することを目的とする。【解決手段】基板1上に配置されるクラッド層2およびコア層3によって形成される埋め込み型光導波路32,33と、その上面に形成される薄膜ヒータ35,36及び光導波路32,33の側面に断熱溝37を形成して構成される導波路型熱光学位相シフタにおいて、前記断熱溝37の光導波方向の長さが前記薄膜ヒータ35,36の長さよりも長いことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に配置されるクラッド層およびコア層によって形成される埋め込み型光導波路と、その上面に形成される薄膜ヒータおよび前記光導波路の側面に形成された断熱溝によって構成される導波路型熱光学位相シフタにおいて、前記断熱溝の光導波方向の長さが前記薄膜ヒータの長さよりも長いことを特徴とする導波路型熱光学位相シフタ。

IPC (1件)：

G02F 1/01

FI (1件)：

G02F1/01 C

Fターム (10件)：

2H079AA06 , 2H079BA01 , 2H079BA03 , 2H079DA03 , 2H079DA17 , 2H079DA22 , 2H079EA05 , 2H079EA21 , 2H079EB05 , 2H079HA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

干渉型熱光学光部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-032964 出願人：日本電信電話株式会社

審査官引用 (4件)

光導波路デバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-160247 出願人：住友電気工業株式会社
導波路型光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-264574 出願人：日立電線株式会社
光回路および光回路装置ならびに光回路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-296505 出願人：古河電気工業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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