特許

J-GLOBAL ID：200903082454153660

コンタクトプローブ

発明者： 西村 淳一 ,  羽賀 剛 ,  平田 嘉裕
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006475
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207522
出願日： 2002年01月15日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】 回路パターンの電極パッドに過大な圧力をかけることなく、電極パッドとの良好な電気的導通が得られるコンタクトプローブを提供する。また、コンタクトプローブを使用して、回路パターンの電極パッドの表層にある酸化膜を還元する方法を提供する。さらに、このようなコンタクトプローブを有する検査装置を提供する。【解決手段】 本発明のコンタクトプローブは、回路パターンの電極パッドと接触する先端の部分または先端の近傍に半導体光触媒を有する。

請求項（抜粋）：

微細な回路パターンの電極パッドに接触させて回路パターンの検査に用いるコンタクトプローブにおいて、前記電極パッドと接触する先端の部分または該先端の近傍に半導体光触媒を有することを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (4件)：

G01R 1/06 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/06 F ,  G01R 1/06 E ,  G01R 1/067 Z ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (10件)：

2G003AG03 ,  2G003AG07 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA04 ,  2G011AC14 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ソケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-351932   出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
• 半導体機器のテスト用ソケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-111606   出願人：三菱電機株式会社
• ソケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-352316   出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社