特許
J-GLOBAL ID：200903082497461881
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
油井 透
, 阿仁屋 節雄
, 清野 仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-161789
公開番号（公開出願番号）：特開2007-335428
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】 レシピの実行による各ステップの内容や詳細を画面に明確に表示させることで基板処理の運転状態、基板処理状態を明確に把握する。【解決手段】 複数のステップから構成されるレシピの作成を行うための操作画面(アウトライン表示画面G1,エラー表示画面G2,シーケンス表示画面G3)と、この操作画面を有する表示手段(モニタ7)と、前記レシピを制御する制御手段とを有し、前記レシピを実行させることにより基板の処理を行う基板処理装置において、前記操作画面に、前記レシピの各ステップ名を表示させると共に、前記ステップ内で行なわれる基板処理の内容を示すアイコン(I1〜I11)を前記レシピの各ステップに対応させて表示させる表示制御手段(操作部2)を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
複数のステップから構成されるレシピの作成を行うための操作画面と、この操作画面を有する表示手段と、前記レシピを制御する制御手段とを有し、前記レシピを実行させることにより基板の処理を行う基板処理装置において、前記操作画面に、前記レシピの各ステップ名を表示させると共に、前記ステップ内で行なわれる基板処理の内容を示すアイコンを前記レシピの各ステップ名に対応させて表示させる表示制御手段を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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