特許
J-GLOBAL ID：200903092051168760

ロードポート装置

発明者：
塩見 昭雄

塩見 昭雄 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283230
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092342
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 カセット内の基板検出を省電力で適切に行なえるロードポート装置を提供する。【解決手段】 ロードポート装置30の載置部31に載置されたカセットC内の基板Wを検出する際には、保持部材駆動機構90により、基板検出器52がカセットCに対向して昇降するように、この基板検出器52を保持する保持部材70をシャッター部材33とは別に昇降移動させるようにしているので、基板検出動作時にシャッター部材33を昇降させるという余分なエネルギー消費を排除でき、その分、省電力化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
基板に所要の処理を施すための上位装置に取り付けられ、複数枚の基板を多段に収容するカセットが載置される載置部を備え、この載置部に載置されたカセット内部と前記上位装置との間の基板搬送経路を提供するロードポート装置であって、前記載置部と前記上位装置との間を隔てるとともに、基板を通過させる通過口がカセットに対向するように開けられた隔壁と、前記隔壁の通過口を開閉するシャッター部材と、通過口を閉塞する位置と通過口を開放する退避位置とにわたって前記シャッター部材を昇降移動させるシャッター駆動機構と、前記載置部に載置されたカセット内の基板を検出する基板検出器と、前記基板検出器を保持する保持部材と、前記基板検出器がカセットに対向して昇降するように前記保持部材を前記シャッター部材とは別に昇降移動させる、前記シャッター駆動機構とは別の保持部材駆動機構とを備えていることを特徴とするロードポート装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07
FI (4件)：
H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 L
Fターム (17件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA13 ,  5F031JA23 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20 ,  5F031NA02 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10
引用特許：
審査官引用 (8件)
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