特許
J-GLOBAL ID：200903082517493378

インライン式電子ビーム蒸着装置およびこれを使用した蒸着被膜の形成方法

発明者：
飯島 栄一

飯島 栄一 について

, 
増田 行男

増田 行男 について

, 
岡田 俊弘

岡田 俊弘 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (3件)： 清水 善▲廣▼ ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164387
公開番号（公開出願番号）：特開2004-010942
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】タクトタイムを飛躍的に向上することが可能なインライン式電子ビーム蒸着装置を提供すること。【解決手段】少なくとも仕込/取出室と蒸着室の2室または仕込室と蒸着室と取出室の3室を有するインライン式電子ビーム蒸着装置において、蒸着室における基板の搬送方向の側壁面にピアス式電子銃が固設されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも仕込/取出室と蒸着室の2室または仕込室と蒸着室と取出室の3室を有するインライン式電子ビーム蒸着装置において、蒸着室における基板の搬送方向の側壁面にピアス式電子銃が固設されていることを特徴とするインライン式電子ビーム蒸着装置。
IPC (1件)：
C23C14/30
FI (1件)：
C23C14/30 B
Fターム (7件)：
4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB21 ,  4K029DB22
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM