特許
J-GLOBAL ID:200903082518550421
容器内に収納されたゲル状物質の投入装置および投入方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小栗 昌平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-196815
公開番号(公開出願番号):特開2003-010674
出願日: 2001年06月28日
公開日(公表日): 2003年01月14日
要約:
【要約】【課題】本発明は、ポットなどの容器に収納されているゲル状物質を溶解機に投入する際、容器の内壁面に残存してロスとなるゲル状物質の量を減らすことを課題とする。また、ポットなどの容器に収納されているゲル状物質の一部を溶解機に投入する際、必要要求量を正確に溶解機に投入し、ゲル状物質のロスを減らすことを課題とする。【解決手段】容器内に収納されたゲル状物質を投入機にて溶解機に投入するゲル状物質の投入装置において、投入機が容器を予熱する予熱手段を備えることを特徴とするゲル状物質の投入装置。また、容器内に収納されたゲル状物質を投入機にて溶解機に投入するゲル状物質の投入装置において、投入機が容器内のゲル状物質の重量を測定する重量測定手段を備えることを特徴とするゲル状物質の投入装置。
請求項(抜粋):
容器内に収納されたゲル状物質を投入機にて溶解機に投入するゲル状物質の投入装置において、投入機が容器を予熱する予熱手段を備えることを特徴とするゲル状物質の投入装置。
IPC (5件):
B01J 4/00 105
, B02C 18/02
, B02C 18/06
, G03C 1/00
, G03C 1/015
FI (5件):
B01J 4/00 105 Z
, B02C 18/02
, B02C 18/06 Z
, G03C 1/00 K
, G03C 1/015
Fターム (13件):
2H023CE00
, 4D065CA01
, 4D065CA06
, 4D065CB10
, 4D065CC03
, 4D065DD04
, 4D065EB20
, 4G068AA07
, 4G068AB30
, 4G068AC01
, 4G068AC16
, 4G068AD01
, 4G068AD45
引用特許:
審査官引用 (5件)
-
改良された静的液化バッチ移行方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-252371
出願人:イーストマンコダックカンパニー
-
基板処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-307380
出願人:日新電機株式会社
-
特開昭60-075831
全件表示
前のページに戻る