特許
J-GLOBAL ID:200903082528528017
光検出素子及び撮像素子、光検出方法及び撮像方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長尾 達也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-164258
公開番号(公開出願番号):特開2009-038352
出願日: 2008年06月24日
公開日(公表日): 2009年02月19日
要約:
【課題】素子の厚さを薄くすることができ、混色の抑制、色分離性と感度の両立、及び化学的安定性を図り、周辺回路との作製プロセスの適合が可能となる光検出素子及び光検出方法を提供する。【解決手段】光電変換層表面上に半導体材料からなる周期構造を備え、前記周期構造による共鳴領域の少なくとも一部が前記光電変換層に含まれるようにした光検出素子を構成する。 また、光検出方法として光電変換層の表面上に半導体材料からなる周期構造を備え、前記周期構造による共鳴領域の少なくとも一部が前記光電変換層に含まれる光検出素子を用意する工程と、 前記周期構造に光を入射させて、該周期構造により特定波長の光に共鳴を生じさせ、当該共鳴した光を前記光電変換層で光電変換させる工程と、を有する光検出方法を構成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
光電変換層の表面上に半導体材料からなる周期構造を備え、前記周期構造による共鳴領域の少なくとも一部が前記光電変換層に含まれることを特徴とする光検出素子。
IPC (5件):
H01L 31/10
, H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
, H04N 9/097
FI (5件):
H01L31/10 A
, H01L27/14 D
, H04N5/335 U
, H04N9/07 A
, H04N9/097
Fターム (28件):
4M118AB01
, 4M118CA03
, 4M118CA05
, 4M118CA06
, 4M118CA22
, 4M118CA27
, 4M118CA34
, 4M118CB06
, 4M118GC07
, 4M118GC11
, 4M118GC14
, 5C024EX52
, 5C024GX07
, 5C065BB30
, 5C065DD26
, 5C065EE03
, 5C065EE20
, 5F049MA02
, 5F049MA04
, 5F049MA05
, 5F049MB03
, 5F049MB07
, 5F049NA10
, 5F049NA20
, 5F049NB05
, 5F049QA20
, 5F049SS03
, 5F049WA03
引用特許:
出願人引用 (4件)
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MOS型固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-342290
出願人:株式会社東芝
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近赤外光検出素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-195567
出願人:松下電工株式会社
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米国特許第5965875号明細書