特許
J-GLOBAL ID:200903082610559370
大面積導波路フィルム及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-246108
公開番号(公開出願番号):特開2001-074951
出願日: 1999年08月31日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】 製造が容易で低コストな大面積導波路フィルム及びその製造方法を提供する。【解決手段】 プラスチックフィルム2上にコア層4及び側面クラッド層5を形成する際にフォトブリーチング用ポリマ材料にフォトマスクを介してUV光を照射することにより、同時に高屈折率のコア層4及び低屈折率の側面クラッド層5を得ることができるので、従来のようなフォトリソグラフィ工程、ドライエッチング工程等を用いることなく、高精度で大面積のコア層パターンが簡単にしかも低コストで得られる。
請求項(抜粋):
プラスチックフィルム上に略矩形断面形状のフォトブリーチング用の高屈折率のコア層が所望間隔でアレイ状に形成され、該高屈折率のコア層の両側面にフォトブリーチング用の低屈折率のクラッド層が形成され、該低屈折率のクラッド層及び上記コア層の上に低屈折率の上部クラッド層が形成され、上記プラスチックフィルムの下面及び上記上部クラッド層の上面にUV光反射層か、あるいはUV吸収層が形成されていることを特徴とする大面積導波路フィルム。
IPC (3件):
G02B 6/12
, G02B 6/13
, G02B 6/122
FI (3件):
G02B 6/12 N
, G02B 6/12 M
, G02B 6/12 A
Fターム (8件):
2H047KA03
, 2H047PA02
, 2H047PA15
, 2H047PA21
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA00
, 2H047TA43
引用特許:
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