ネガ型感光性樹脂組成物及び画像形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-191230
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024970
出願日： 2003年07月03日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】高感度、かつ高解像力であると共に、10μm以上の膜厚でも良好なパターン形状を得ることができる高特性ネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光酸発生剤、及び(C)酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂(A)に作用する架橋剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物。該アルカリ可溶性樹脂(A)が、下記一般式(I)で表される構造単位及び(II)で表される構造単位を含む。【化13】(R1〜R9は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20の置換又は非置換のアルキル基、炭素数3〜20の置換又は非置換のシクロアルキル基、炭素数6〜18の置換又は非置換のアリール基。Xは2価の連結基。lは1〜3の整数。m、nは0〜3の整数。ベンゼン環は水酸基以外の置換基を有していても良い。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光酸発生剤、及び(C)酸性条件下でアルカリ可溶性樹脂(A)に作用する架橋剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物において、該アルカリ可溶性樹脂(A)が、下記一般式(I)で表される構造単位及び下記一般式(II)で表される構造単位を含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F7/038 , H01L21/027

FI (2件)：

G03F7/038 601 , H01L21/30 502R

Fターム (16件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB14 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB45 , 2H025CC17 , 2H025FA17

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-250637
ネガティブトーンマイクロリトグラフィックレジスト組成物及びマイクロリトグラフィックレリーフ画像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-021226 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
特開平4-232953

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