特許
J-GLOBAL ID：200903082754914787

感熱式流量センサ

発明者：
山川 智也

山川 智也 について

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米澤 史佳

米澤 史佳 について

, 
裏町 裕之

裏町 裕之 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079431
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275076
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、流量検出精度及び感度の高い感熱式流量センサを得る。【解決手段】 感熱抵抗膜よりなる発熱体4が平板状基板1の表面に形成され、発熱体形成領域の下部にある平板状基板1を部分的に除去して流量検出用ダイアフラム12が構成されてなる流量検出素子14と、被計測流体の流れ方向に表面を平行にして配置されてなる支持体16とを備え、流量検出素子14が支持体16の表面に形成された凹部18内に、表面をほぼ面位置となるように支持固定されている。そして、薄板状部材24がキャビティ13を塞ぐように流量検出素子14の裏面に取り付けられている。
請求項（抜粋）：
感熱抵抗膜よりなる発熱体が平板状基板の表面に形成され、キャビティが該発熱体形成領域の下部にある該平板状基板を部分的に除去して形成されて流量検出用ダイアフラムを構成した流量検出素子と、上記流量検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が被計測流体の流れ方向に平行に又は所定の角度をなして配置される支持体とを備え、上記流量検出素子がその表面を上記支持体の表面とほぼ同じ面位置となるように上記凹部内に収納された感熱式流量センサであって、上記流量検出素子を支持する支持面が上記支持体の凹部内に設けられ、上記流量検出素子が上記支持面に支持固定され、かつ、薄板状部材が上記流量検出素子の裏面側に上記キャビティを塞ぐように取り付けられていることを特徴とする感熱式流量センサ。
IPC (2件)：
G01F 1/68 ,  G01P 5/12
FI (2件)：
G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C
Fターム (4件)：
2F035AA02 ,  2F035EA03 ,  2F035EA04 ,  2F035EA08
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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