レーザ超音波を利用したオンライン結晶粒径測定装置及び測定方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 亀松宏 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-271305
公開番号（公開出願番号）：特開2006-084392
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】鋼板の生産ラインにおいて、レーザ超音波法を応用して鋼板の結晶粒径をオンラインで測定することができる装置及び方法を提供する。【解決手段】パルス発光レーザと超音波測定用レーザと光ファイバ33と光ファイバ41;パルス発光レーザの光ビームを測定対象物の表面に照射して超音波を発生させ、該超音波の発生位置と同一位置に光ファイバ33によって伝送された超音波測定用レーザの光ビームを照射し、該超音波の反射超音波によって反射された散乱光を捕集して光ファイバ41に入射させる光学ヘッド70;光ファイバ41によって伝送された前記散乱光の強度変化を検出して反射超音波の強度を測定する、共焦点ファブリー・ペロー干渉計や高速シャッターを具備した超音波安定測定部;および超音波安定測定部の電気的出力信号から結晶粒径を算出する信号処理部で構成されるオンライン結晶粒径測定装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属板の生産ライン中において該金属板の結晶粒径をレーザ超音波法を用いてオンラインで測定するオンライン結晶粒径測定装置において、測定対象物60の表面に超音波を発生させるためのパルス発光レーザ10;測定対象物60の反射超音波を検出するための超音波測定用レーザ30;該超音波測定用レーザで発生した光ビーム35を測定対象物近傍に導くための光ファイバ33;測定対象物60の表面で反射された光ビーム35の散乱光を超音波安定測定部20に導く光ファイバ41;パルス発光レーザ10で発生した光ビーム13を測定対象物60の表面に照射して該測定対象物内に超音波を発生させ、該超音波の発生表面と同一表面に前記光ファイバ33によって伝送された超音波測定用レーザ30の光ビーム35を照射し、さらに該超音波の前記反射超音波によって反射された前記光ビーム35の前記散乱光を捕集して前記光ファイバ41に入射させる光学ヘッド70;前記光ファイバ41によって伝送された前記散乱光の強度変化を検出することにより前記反射超音波の強度を測定する超音波安定測定部20;および該超音波安定測定部20の電気的出力信号から結晶粒径を算出する信号処理部40で構成され、前記超音波安定測定部20は、光ファイバ41によって伝送された前記散乱光の前記反射超音波による前記超音波測定用レーザの周波数からの周波数偏移を透過干渉光および反射干渉光の強度変化として検出する共焦点ファブリー・ペロー干渉計116で構成されるレーザ干渉部と;前記超音波測定用レーザ30の光ビームの一部を分離して光ファイバ52で該共焦点ファブリー・ペロー干渉計116に伝送して該共焦点ファブリー・ペロー干渉計116の干渉を安定化する干渉計安定部と;測定対象物の表面での超音波生成時に存在するプラズマ放射光が該共焦点ファブリー・ペロー干渉計116に入射するのを抑止する高速シャッター110とを具備するオンライン結晶粒径測定装置。

IPC (1件)：

G01N 29/00

FI (1件)：

G01N29/00 501

Fターム (8件)：

2G047AA06 , 2G047AB04 , 2G047BC14 , 2G047BC18 , 2G047CA04 , 2G047CB01 , 2G047GD01 , 2G047GF25

引用特許：

出願人引用 (4件)

米国特許第6684701号公報
米国特許第6532821号公報
米国特許第6057927号公報

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審査官引用 (9件)

レーザ超音波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-065667 出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 株式会社東芝
材料厚さの非接触測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-340664 出願人：川崎製鉄株式会社
電子スチル・カメラおよびその動作制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-236573 出願人：富士写真フイルム株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

レーザ超音波をもちいた鋼板の材質計測

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